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測量真空泵漏率的方法
日期:[2019/8/28 15:42:55]   共閱[207]次
  測量真空泵漏率的主要目的是為了能及時判斷泵是否存在一定的泄漏,因為泵對密封性要求嚴格,所以測量泵的漏率還能檢測出它的密封性能究竟如何。那么如何測量泵的漏率,主要有這幾種方法:
  1、加壓條件下容器漏率的測定
  方法有:氣泡法、氣敏半導體檢漏儀法、鹵素檢漏儀法、氨檢漏法、超聲法、氮質譜檢漏儀法等。
  2、真空條件下容器漏率的測定
  (1)可以選用流盆測量、壓力測量、鹵素檢漏儀以及氮質譜檢漏儀等方法來測真空泵的全漏率。
  (2)利用真空容器的真空規、離子泵及殘氣分析質譜計來測定容器的漏率。
  3、密封件的無損檢漏
  (1)盡量利用密封件上可用來指示密封器件內部壓力和示漏物質分壓力的規管和殘氣分析質譜計等進行檢漏。
  (2)如果密封件內部具有可作為示漏的物質時,采用動態法或靜態法對漏到真空泵外面的示漏物質進行檢測,即可測出漏孔。這類密封件內部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時的壓力為高。
  (3)有些原來不是測量壓力的裝置,將其電極接成電離規的方式,測全出管內離子流的變化,便可知管內壓力的變化率。大批量生產這類器件時,可以通過校準的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。
  (4)背壓法檢漏適用于成批生產小型密封件時的檢漏。
  上面介紹的幾種方法和測量真空泵漏率有關,在測量過程中應當選擇合適的測量儀器外加合適的測量方法對泵的漏率做出詳細檢測,及時檢修,方便泵的使用。
  小編:Jane
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